德堃科技产品在半导体材料制造控制系统中的应用案例

某半导体材料生产企业,在其晶体生长炉的热流控制系统中,需要精确控制温度、实时监测电力参数,并实现自动化的功率调节,以保证晶体生长的高质量和稳定性。
DK2900 高精度温控仪:用于精确测量和控制晶体生长炉的温度,具备 6 位显示,能快速准确地将温度控制在设定值附近,确保晶体生长环境的温度稳定性15。
DK6500 三相真有效值多功能仪表:实时测量三相电压、电流、有功功率等参数,可实现 2 路继电器报警和 3 路变送输出,支持标准 Modbus RTU 通讯协议,为系统提供准确的电力参数监测2。
JD 系列三相可控硅控制器:根据温控仪的控制信号,通过移相控制或调功控制方式,精确调节晶体生长炉的输入功率,实现对热流的精确控制。
JT16DN温度采集模块 在反应釜的不同位置安装多个温度传感器,将温度信号传输给 JT16DN 温度采集模块。该模块具有高精度的 A/D 转换功能,能将模拟温度信号转换为数字信号,并通过以太网将温度数据传输给工控机
工控机:作为系统的核心控制设备,通过以太网与 DK2900 温控仪、DK6500 多功能仪表和 JD 系列三相可控硅控制器连接,实现对整个热流控制系统的集中监控和管理。
温度精确控制:DK2900 高精度温控仪实时采集晶体生长炉内的温度信号,与预设的温度值进行比较,通过 PID 算法计算出需要调节的功率值,并将控制信号发送给 JD 系列三相可控硅控制器。JD 系列控制器根据接收到的信号,快速调整输出功率,使炉内温度保持在设定的精度范围内。
电力参数监测与报警:DK6500 三相真有效值多功能仪表实时监测三相电力参数,将数据通过以太网传输给工控机。工控机对这些数据进行分析和处理,一旦发现参数异常,如电压过高或过低、电流过载等,立即通过 DK6500 的继电器输出报警信号,同时在工控机界面上显示报警信息,提醒操作人员及时处理。
远程监控与管理:操作人员可以在远离生产现场的监控室,通过局域网或互联网连接到工控机,实时查看晶体生长炉的温度、电力参数等运行数据,远程设置温度、功率等控制参数,对热流控制系统进行远程操作和管理。

提高产品质量:通过 DK2900 高精度温控仪和 JD 系列三相可控硅控制器的精确配合,热流控制系统能够将晶体生长炉的温度控制在 ±0.1℃的精度范围内,有效提高了晶体的生长质量和一致性,减少了因温度波动导致的晶体缺陷和废品率。
提升生产效率:工控机的集中监控和管理功能,使操作人员能够实时了解系统的运行状态,及时发现和处理问题,减少了设备故障停机时间。同时,自动化的控制过程减少了人工干预,提高了生产过程的自动化程度和生产效率。
降低能耗:DK6500 三相真有效值多功能仪表对电力参数的实时监测和分析,帮助企业及时发现能源浪费问题,通过优化控制策略和调整设备运行参数,实现了能源的合理利用,降低了生产能耗。